第一卷 第287章 因为她看见了 (第2/2页)
　　
　　“一号镜，左偏补偿0.003。”
　　
　　“三号镜，抬高。”
　　
　　“五号镜，锁死。”
　　
　　“看掩膜版。”
　　
　　她声音不大。
　　
　　却像一把冰冷的锤子，砸进每个人耳朵里。
　　
　　操作员猛地回神，扑向副屏。
　　
　　画面切换。
　　
　　那道被强行归正的极紫外光束，穿透复杂到令人窒息的镜头群，最终精准轰击在掩膜版之上。
　　
　　嗤！
　　
　　一声极轻的灼响。
　　
　　光，咬住了。
　　
　　“聚焦成功！”
　　
　　“主焦点锁定成功！”
　　
　　会场里先是一静。
　　
　　紧接着。
　　
　　轰！
　　
　　整个主控区像炸了一样。
　　
　　“成了！”
　　
　　“真的聚住了！”
　　
　　“曝光！快上曝光程序！”
　　
　　程美丽一掌拍下执行键。
　　
　　啪！
　　
　　晶圆工件台开始高速平移。
　　
　　涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆，在真空吸附台上稳稳前送。
　　
　　那束杀穿所有封锁的极紫外光，透过掩膜版，在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。
　　
　　全场没人再说话。
　　
　　只剩设备运转的低沉轰鸣。
　　
　　还有众人压得发疼的呼吸。
　　
　　三分钟后。
　　
　　滴！
　　
　　曝光结束。
　　
　　晶圆被机械抓手缓缓送出，推入显影清洗区。
　　
　　化学显影液如细雨般淋下。
　　
　　冲洗。
　　
　　定型。
　　
　　白色水雾弥散在玻璃罩内，遮得人眼前发白。
　　
　　“出来了。”
　　
　　程美丽开口。
　　
　　机械抓手应声探出，将首片曝光后的晶圆平稳夹起，送向最高精度电子显微镜平台。
　　
　　李副部长站在显微镜前，手都不知道该往哪放。
　　
　　一名院士死死抓着自己的老花镜，指节泛白。
　　
　　程美丽走过去，亲手转动焦距旋钮。
　　
　　咔。
　　
　　目镜锁定。
　　
　　她低头看了一眼。
　　
　　没说话。
　　
　　直接抬手把显微镜画面投上了主屏。
　　
　　嗡！
　　
　　巨幕亮起。
　　
　　一片安静得近乎完美的微观世界，瞬间铺满全场视野。
　　
　　晶格。
　　
　　线路。
　　
　　一道道细密到让人头皮发麻的电路纹路，整整齐齐排布在硅片之上。
　　
　　每一条边缘都锋利。
　　
　　每一个拐角都干净。
　　
　　没有塌陷。
　　
　　没有毛刺。
　　
　　没有任何因为失焦带来的烧灼和畸变。
　　
　　主屏右上角，自动检测数值缓缓跳出。
　　
　　0.5微米。
　　
　　李副部长盯着那串数字，整个人像是被雷劈中了。
　　
　　“零点……五……”
　　
　　他张了张嘴，声音却卡在嗓子里。
　　
　　下一秒。
　　
　　他猛地抬起手，死死捂住自己的脸。
　　
　　肩膀剧烈发抖。
　　
　　“成了……”
　　
　　“成了啊！”
　　
　　这声吼出来的时候，整个车间彻底炸了。
　　
　　欢呼声。
　　
　　拍桌声。
　　
　　金属栏杆被砸得咣咣作响。
　　
　　两名头发花白的院士当场红了眼，摘下眼镜抹脸，动作都在抖。
　　
　　其余人的反应彻底失控，几个人抱在一起，几个人高高举起图纸，像疯了一样吼。
　　
　　但这些声音，都被程美丽扔在了身后。
　　
　　她站在大屏前，盯着那片0.5微米的完美晶格，眼神却没有松下来。
　　
　　因为她看见了。
　　
　　在主屏最下方，一块被自动放大的微观区域里。
　　
　　某一道细密电路的边缘，正浮起一小片不正常的暗红色热斑。
　　
　　不大。
　　
　　只有针尖那么一点。
　　
　　却像一根细针，刺进了她的眼底。
　　
　　她没有出声。
　　
　　只是抬起手，用指尖轻轻敲了两下冰冷的显微镜外壳。
　　
　　笃。
　　
　　笃。
　　
　　主屏右下角的工艺流程时间提示，还在冷冰冰地跳。
　　
　　距离芯片蚀刻工序开始。
　　
　　还剩2小时。