第1159章 首片国产芯!从零到一 (第2/2页)
但他更知道袁涛没说错。没有时间了!
“干!”
苏定平猛地一掌拍在桌子上,合金桌面发出一声沉闷的呻吟,震得虚拟烟灰缸里的像素都跳了一下。
他的声音斩钉截铁。
“立刻组建迭影攻坚组!袁涛任现场技术总监!按照五层曝光方案实施!哪怕成功率只有万分之一!只要还有一丝可能造出符合7nm节点特征尺寸的晶体管!
这条路就给我走下去!失败?废品?烧钱?算我的!所有责任后果我一人承担!目标只有一个——打通这条带血的路径!给烛龙堆芯!送去能搏动的心!”
接下来的日子,龙芯实验室如同进入了某种惨烈的、自我消耗的绞肉机模式。
每一次五层曝光,都是对设备稳定性、工艺精密度、工程师神经极限的一次地狱级考验!
涂胶…对准…曝光!
再换掩模…再涂底层抗反射涂层…再对准…再曝光!
如此反复五次!
实验室里弥漫着一种近乎疯狂的气息。操作员的眼睛几乎长在对准仪的视窗上,每一次微调都屏住呼吸,手心全是冷汗。
空气中充满了各种光刻胶溶剂、显影液以及过度紧张散发出的汗味。机器报警声如同丧钟,几乎就没有间断过。
第一批五层套刻试产后,郭雪云拿着刚出炉的良率报告单,手指都在微微颤抖。
她走到彻夜未眠、眼窝深陷的苏定平面前,声音带着哭腔。
“苏…苏总…”
报告单上,那个用加粗红字标出的数字触目惊心。
【良率。14。7%】!
国际先进EUV光刻机制造7nm芯片的良率基准线是多少?初期也超过70%!量产稳定后甚至达到95%!
而龙芯的五层迭影工艺,14。7%!!
这意味着生产一百枚芯片,只有不到15片能用!其中能达到设计性能要求的,更是百中无一!剩下的85。3%,全是废片!全是烧掉的真金白银!还有无法估量的研发资源和时间!
昂贵的“昆仑胎玉”硅片?
珍稀优化过的“蚀影-7B”光刻胶?
天价的特种蚀刻药剂?
如同流水般消耗进那台轰鸣着、仿佛永不餍足的设备里,然后变成一堆堆只能用粉碎机处理的电子垃圾!
实验室门口,一名财务处派来的会计天天抱着成本核算单捶胸顿足。
“亏!血亏!!苏总啊!您算算!每造出一片合格的芯片,成本是市场采购价格的十倍!
二十倍!还不算损耗!!我们…我们这是点着钱堆在搞自杀式冲锋啊!”
五层曝光工艺下的“伏羲一号”生产区域,如同一个张开血盆大口的黑洞,无情地吞噬着这个尚未完全成熟的实验室每一份宝贵资源和每一丝残存的信心。
龙夏芯片自主征途,在刚刚看到了“光”之后,再次一头栽入了一个名为“多重曝光地狱”的深渊,挣扎在亏损和无果的窒息边缘!
“钱堆在烧!”
财务老王那带着哭腔的控诉,像刀子一样刻在实验室冰冷的金属墙壁上,也狠狠扎在每个人的心上。
五层曝光的绞肉机产线,在疯狂地咀嚼着“昆仑胎玉”和“蚀影”胶水的同时,也正在把龙芯实验室本就宝贵的时间和龙夏部落举国支持的信心,一点点嚼成碎末!
夜复一夜,苏定平像块没有知觉的磐石杵在那台庞大、嘶吼着制造昂贵垃圾的“伏羲一号”旁,屏幕上那个猩红的“14。7%”良率数字就是悬在他头顶的达摩克利斯之剑。冰冷的控制台面板映出他深陷的眼窝和近乎燃烧的瞳孔。
“堵死了…”他沙哑的声音如同砂纸摩擦,在沉寂的深夜实验室里异常清晰。
“28nm就是极限!用这种堆迭僵尸一样堆出来的7nm怪物,良率比大马路上捡到金条的几率还低!再这么硬迭下去,我们就是把龙夏国库搬空,也喂不饱这台怪物!更别说造烛龙的心脏!”
他猛地一拳砸在控制面板边缘,合金发出“哐”的一声闷响!
“出路只有一条!把西方的终极锁链——EUV光刻机!造出来!不是买,不是偷,是堂堂正正!从我们这片土地上,把它造出来!造出真正属于自己的,13。5nm极紫外光!造出能驾驭那毁灭性光源的精密心脏!”
他的声音陡然拔高,带着一股不容置疑的决绝和几近狰狞的气势。
“放弃幻想!停掉所有的五层迭影试验!伏羲一号保留!作为后期基础光刻步骤的冗余备份!从现在起——追光计划启动!目标只有一个!EUV!给我造出13。5nm的光!”
命令如同飓风,瞬间席卷了死气沉沉又弥漫着焦躁绝望的实验室。惊愕之后,是几乎压倒一切的悲观和难以置信!
“E… EUV?苏总!”
袁涛像是被踩了尾巴的猫,声音都变了调,他指着“伏羲一号”——那台好不容易拼凑起来只能搞200nm古董级别工艺、运行起来浑身零件都在哀嚎的光刻机基础。
“咱这玩意儿连DUV都没玩明白!EUV?!
这等于让刚学会走路的娃娃去参加珠峰登顶速攀大赛!还要破世界纪录!
那根本不是一个维度的东西!”
“苏总,光是那个光源就要了命啊!”
负责光源预研的工程师哭丧着脸。
“13。5nm的极紫外!
这玩意压根没法用普通透镜聚焦生成!
它需要超高功率的驱动!需要精准控制每秒几万次的锡微滴喷射!再用激光脉冲去轰打!让锡离子产生等离子体发出特定波段的光…光是其中任何一项都是地狱级难度!就我们手里的激光器,最高功率的型号连根毛都够不着!”
实验室里一片死寂。
所有人都知道EUV代表着人类工业皇冠上最璀璨也是最遥远的那颗星辰。
它的制造难度,堪比登天炼狱!雄鹰部落倾举国尖端企业之力,堆砌了堆积如山的资金和无法想象的天才工程师团队,耗费了整整二十年才勉强搞定!龙芯实验室?满打满算就这点家底!还是在被全面封锁的情况下!